用于倒装led芯片的衬底以及外延片的制作方法技术资料下载

技术编号:8848728

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氮化镓(GaN)基LED自从20世纪90年代初商业化以来,经过二十几年的发展,其结构已趋于成熟和完善,已能够满足人们现阶段对灯具装饰的需求;但要完全取代传统光源进入照明领域,尤其是高端照明领域,发光亮度的提高却是LED行业科研工作者永无止境的追求。LED发光亮度的提升受限的根源在于自然界中缺乏天然的氮化镓衬底材料,可用于氮化镓基LED的异质衬底材料寥寥无几,可用于商业化的衬底材料更是少之甚少,目前市面上只存在蓝宝石和碳化硅两种衬底材料,其中蓝宝石由于具有化...
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