技术编号:8860509
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。由于发光二极管芯片(Light Emitting D1de,简称LED)是一种具有节能、环保、和寿命长等诸多优点的半导体元器件,所以目前阶段,其已经成为国内外最受重视的光源技术之一。LED芯片通常的制作方法,是采用金属有机化合物的化学气相沉积,从而在衬底上生长外延层,然后再通过一系列的芯片制程制作而成。在LED芯片的制作当中,分布式布拉格反射镜(简称DBR)镀膜是一个关键的环节。镀膜过程中,需将LED芯片稳定的放置在镀膜治具之上。然而在这一过程当中,镀膜治...
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