技术编号:8865840
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,微纳米技术的研宄及应用得到飞速发展,已成为二十一世纪世界各主要国家优先发展的重点及前沿领域。而光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、透射电子显微镜(TEM)及扫描探针显微镜(SPM)等微纳米显微检测成像技术,是微纳米技术发展的重要基础。SPM家族中最具代表性的是扫描隧道显微镜(STM)和原子力显微镜(AFM),其中尤其以AFM的研宄和应用更为广泛,因为AFM不受微纳米样品的导电性、磁性及物质态(固态、胶体、液态)等的限制,因而在微纳米电子学、微纳米...
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