技术编号：8867260
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，压电陶瓷致动器件所具有的优点已得到广泛的承认和应用。压电陶瓷致动器件是利用压电材料的逆压电效应来工作的，仅依靠外加电场的大小就能够实现驱动，其克服了以往机械式、液压式、气动式、电磁式等执行器惯性大、响应慢、结构复杂、可靠性差等不足。具有体积小、结构紧凑、无机械摩擦、无间隙、分辨率高、响应快、无发热、不受磁场干扰、可在低温，真空度环境下使用等优点，被广泛应用于微定位技术中。例如物镜精密定位、大行程纳米对准系统、高精度显微纳米压印、主动减震、掩模与晶圆对...
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