技术编号：8879376
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。采用等离子体方法在材料表面沉积薄膜的方法已被广泛使用，在太阳能电池领域应用也十分普遍。在太阳能电池领域不论是在何种材料表面沉积薄膜，其最终目标都是要获得具有良好光学或电学性能的薄膜。目前所使用的用于沉积薄膜的气源都多于两种，要获得具有良好光学或电学性能的薄膜，除工艺条件、气体纯度等外，设备本身也是关键因素之一。目前，广泛应用并较为重视的手段有喷淋电极、甚高频电源、残余物处理、等离子密度及均匀性、交变磁场等等。此外，多种气体均匀混合问题也是影响沉积薄膜性能的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。