技术编号：8881764
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。分子泵作为一种可以获得清洁高真空的真空获得设备，已被广泛应用于半导体等行业中。目前，分子泵主要有两种，一种是涡轮分子泵，另一种是复合分子泵。其中涡轮分子泵可以获得较大的抽速，但难以获得较大的压缩比，而在一些半导体行业中，要求在较宽的压力范围内具有较大的抽速，而涡轮分子泵并不合适。对于复合分子泵，在获得较大抽速的同时，还可获得较大的压缩比，因此在半导体等行业中被广泛应用。现有的复合分子泵主要分为两类，一类是由涡轮分子泵与盘式牵引分子泵组合设计而成，即带盘式牵...
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