技术编号：8883006
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，影印光刻方面所使用的光源大多为传统的汞灯，这种汞灯寿命短(大约500-1000小时)，由于光源尺寸太大无法聚拢光线，导致光学系统不好设计，而这种非准直的光线会导致光刻模板上的投影弥散，丧失原有的信息，因此准直对于光刻系统的意义非常重要，理想的情形应该是标准模板上的形状被完美地投影到蚀刻面之上，但是现有技术无法达到此程度。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种影印光刻用的均匀准直的照明模组和阵列照明系统，解决了现有技术中影印光刻时非准直的光线导致光刻...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。