一种真空热压陶瓷基片烧结炉的制作方法技术资料下载

技术编号:8884666

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陶瓷基片,又称陶瓷基板,是以电子陶瓷为基底,对膜电路元件及外贴切元件形成一个支撑底座的片状材料。陶瓷基片一般工艺流程为球磨、真空除泡、流延成型、排胶、烧结,作为生产陶瓷基片的关键设备,真空热压烧结炉是必不可少的。目前真空热压烧结炉的结构均单室结构,不能实现连续烧结,在每次烧结完毕后就必须充气来实现加热室的快速降温,然后才可取出工件。上述烧结炉的缺点为(1)冷却时需消耗大量氮气浪费氮气,冷却时间长;(2)由于冷却系统的设置,增加了设备结构的复杂度,操作起来不...
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