技术编号:8884787
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在使用基板的生产过程中,需要对石英基板的底厚进行测量确认,现有技术中通常采用测量石英基本凹槽深度,然后与石英基板直径相减得到基板厚度。但由于石英基板一般直径较小,测量难度大且测量的数值会出现偏差,测量部不准确。实用新型内容实用新型目的本实用新型的目的是为了解决现有技术中的不足,提供一种操作方便,测量快速、准确的石英基板底厚快速测量装置。技术方案本实用新型所述的一种石英基板底厚快速测量装置,包括底座和与所述底座固定连接的固定架,所述固定架通过支架固定连接有百...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。