一种AlGaN/GaN HEMT压力传感器的制造方法技术资料下载

技术编号:8897674

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传感器技术是现代科学技术发展水平的重要标志,其中压力传感器是应用最为广泛的一类。随着对宽禁带半导体的研宄深入,发现宽禁带半导体GaN(禁带宽度3.4eV)传感器可以不用冷却在高温下探测化学、气体、生物、辐射以及发送信号给中央控制器。AlGaN/GaN HEMT已经被证明具有高频、耐高压、耐高温和抗辐射特性,是高功率及电力电子器件最具潜力的器件,也是可以工作在恶劣条件下最具潜力的压力传感器。目前AIGaN/GaN HEMT中最先进的生长技术是MOCVE和MB...
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