技术编号：8903518
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 自真空技术出现W来，真空技术的不断进步极大促进了人类科学的发展，到目前 为止，无论是半导体产业，新材料的开发，表面科学的研究，还是物理学中最尖端的离子加 速器的应用等科学领域，都对真空度的要求极高，甚至在军工武器W及宇宙探索仪器的研 发方面也离不开真空。 例如，对于二次离子质谱（SecondaryIonMassSpectrometry,简称SIM巧仪， 是一种对表面灵敏的微区分析质谱仪器。SIMS的应用涵盖了微电子学、化学、材料学、地球 科学与宇宙科学、...
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