技术编号:8906809
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 新型平板显示(FPD)产业的核心技术是薄膜晶体管(TFT)背板技术。金属氧化物 TFT (M0TFT)不仅具有较高的迀移率(在5~50 cm3/(T-;s)左右),而且制作工艺简单,制造 成本较低,还具有优异的大面积均匀性。因此M0TFT技术自诞生以来便备受业界瞩目。 虽然金属氧化物薄膜晶体管相对于别的材料的薄膜晶体管具有较高的迀移率,但 是随着新型平板显示的不断发展,金属氧化物薄膜晶体管的迀移率已经无法满足需要,此 外还需要金属氧化物薄膜晶体管不仅具有...
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