技术编号：8909087
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。光学信号传输可用于在分离的集成电路芯片之间传递信号以提供芯片间连接，并且在相同集成电路芯片上的组件内传递信号以提供芯片间连接。在许多实例中，需要将外部光纤耦合到集成电路光子芯片的光子装置(例如，波导)。此耦合需要光纤与光子装置之间的精确光学对准。为了实现此精确光学对准，已提出构建在集成电路芯片上的复杂微机电系统(MEMS)来用于将光纤与光子装置光学对准。然而，复杂MEMS结构实施起来昂贵且制作起来耗时。另外，用于将光纤对准到光子装置的结构应虑及在使用期间例...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。