用于制造包含至少两个光学元件的波前校正的光学装置的方法技术资料下载

技术编号:8909096

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专利说明用于制造包含至少两个光学元件的波前校正的光学装置的 方法背景技术 当制造光学装置、尤其是高性能光学系统时,对整体光学装置的容差和由此产生 的单独部件的允许容差提出非常严格的要求。 单独部件与理论上理想的形状和理想的光学行为之间的偏差常常表现为穿过该 光学装置的光束的波前误差的形式。波前误差理解为距离理想波前(例如,理想平面式波 前(平面波)或理想球面式波前(球波))的波前(相同相的轨迹)的二维或=维偏差。 具有窄容差限的单独部件的制造和使用就制造工...
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