技术编号:8909520
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。微机电系统(MEMS)设备包括麦克风和扬声器作为两个示例。在MEMS麦克风的情况下,声音能量经由声音端口进入并振动隔膜(diaphragm),该动作形成在隔膜和靠近隔膜设置的背板之间电势(电压)的相应变化。电压表示已经接收到的声音能量。典型地,然后将电压传输至电路(例如,诸如专用集成电路(ASIC)的集成电路)。可在电路上进行信号的进一步处理。例如,可在集成电路中对电压信号进行放大功能或滤波功能。麦克风的部件典型地设置在印刷电路板(PCB)、基板、或基底上...
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