技术编号：8915091
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。MEMS气体流量传感器是随着MEMS制造技术的不断发展而出现的。现有的MEMS气体流量传感器主要是基于硅衬底的MEMS流量传感器，通过在硅衬底上沉积金属薄膜并进行薄膜图形化制造金属电阻，金属电极和衬底之间有隔离层隔开，金属电阻的阻值随温度变化，当气体流过金属电阻表面后，金属电阻的温度发生变化导致其阻值变化，通过检测金属电阻的阻值变化来测量气体流量的大小。为了提高MEMS气体流量传感器的灵敏度并降低功耗，往往将金属电极下方的衬底材料腐蚀掉而形成空腔，空腔结构...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。