技术编号:8915123
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 氮化铝(AlN)是原子晶体,属类金刚石氮化物,最高稳定温度达2200°C。室温下强 度高,且其强度随温度的升高下降较慢。AlN陶瓷导热性能好,线膨胀系数与硅接近,体积电 阻率高,介电常数和介电损耗小,无毒,耐高温和腐蚀,力学性能良好,其综合性能优于Al 2O3 和BeO,是新一代半导体基片和电子器件封装的理想材料,在电子工业中的应用前景十分广 阔。AlN粉末是制备AlN陶瓷的原料,它的性质对AlN陶瓷的制备工艺以及陶瓷性能有直接 影响,要获得性能优良的...
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