技术编号:8920543
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及微机械陀螺仪,具体是一种提升硅微机械陀螺仪带宽全温性能的方 法。背景技术 微机械陀螺仪是一种采用哥氏效应原理敏感载体输入角速率信息的传感器,其具 有体积小、功耗低、重量轻、成本低、抗过载特性强、易于集成化和批量生产等优点,并广泛 应用于诸多领域(比如惯性导航、汽车安全、工业控制、消费电子等)。如图1-图2所示, 微机械陀螺仪包括陀螺结构、陀螺测控电路。所述陀螺结构包括驱动轴向结构、检测轴向结 构。所述检测轴向结构包括哥氏质量、检测位移提取结构(...
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