技术编号：8921077
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。探针卡用于对晶圆进行测试。探针卡的测试方式是将探针扎在接触片(pad)上来对晶圆进行检测。目前晶圆在测试前，机台不会自动检查探针卡的针痕(prober mark,pad里的扎针针痕)状态，需要操作者手动扎针并判断针痕是否在pad中，因此，机台无法自动发现探针卡的状态是否良好。而绝大多数情况下，针痕都是在pad内，但是，为了确保探针是扎在pad上的，操作者还是需要手动检查一遍，因此，无论针痕在何种状态，都需要手动检查，不仅浪费了工艺时间，还使得测试更加繁琐。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。