技术编号：8921752
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。涂布技术就是在器件制作过程中在待加工基板表面涂覆一层光刻胶，然后通过后续曝光、显影、蚀刻、脱膜等工序制作出需求的电极或绝缘层图形。在平板显示和半导体制造行业，涂布技术是非常关键的工艺技术，其按设备使用方式的不同分类为旋转涂布、线状涂布和滚动涂布等，其中线状涂布方式被广泛应用于平板显示行业，其主要特点在于涂布精度高，平坦度好，节拍快，产能高。在制造型企业中，制造成本是关系到企业能否立足于市场的核心竞争力，而在线状涂布方式制程中，其原材料光刻胶通常是从国外进口...
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