技术编号：8921754
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明属于加工半导体设备领域，具体涉及一种通过莫尔条纹来进行离轴对准装 置和对准调节方法，将其用于投影光刻机中硅片的精确定位。背景技术 集成电路芯片生产过程中，为了实现光刻机期望的精度指标，需要精确建立光刻 机各个坐标系间的关系。如图1所示，投影式光刻机包括了提供曝光光束的照明系统11、用 于支承掩模版12的掩模台13、掩模版12上有掩模图案和用于掩膜对准标记RM、用于将掩 模版13上的掩模图案投影到硅片15上的投影光学系统16、用于支承硅片15的工件台...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。