技术编号:8923896
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。半导体结构包括存储装置被使用于许多产品之中,例如MP3播放器、数字相机、计算机档案等等的储存元件中。随着应用的增加,对于存储装置的需求也趋向较小的尺寸、较大的存储容量。因应这种需求,系需要制造高元件密度的存储装置。由于装置临界尺寸已经降低到技术的极限,因此设计者们开发一种提高存储装置密度的方法是使用三维叠层存储装置,藉以达成更高的存储容量,同时降低每一比特的成本。然而,此种存储装置复杂的结构也使得制造方法变得复杂。发明内容根据一实施例,公开一种半导体结构的...
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