技术编号：8923997
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。二极管中存在普通的pn 二极管、利用击穿电流的稳压二极管。稳压二极管中通常存在高浓度区域和低浓度区域，为了得到规定的耐压，必须进行高浓度区域和低浓度区域的成结的平衡。在此，作为相当于低浓度区域的部分，使用未加工晶圆、外延晶圆。通常通过CZ法(Czochralski直拉生长法)形成未加工晶圆，具有规定的耐压的晶圆只是晶锭(ingot)的一部分。通过CZ法形成的晶圆有时存在面内的比电阻的离散大的情况，有可能无法得到目标的耐压。另一方面，在外延晶圆的情况下，在同...
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