技术编号:8925649
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。典型的麦克风具有暴露于入射压力波的膜片。这些压力波使得膜片偏转,并且该偏转通过各种换能机制被检测到并且被转换成电信号。在微机电系统(MEMS)麦克风中,传统的换能机制可以包括压电、压阻、光学和电容性的机制。简单的MEMS麦克风可以是包括更通常地称为“背板”的对电极和膜片的电容器。当跨背板/膜片电容系统施加电压,并且声波使得膜片振荡时,可以通过测量由膜片相对于背板的移动所引起的电容的变化,将声波转换成可用的电信号。很多MEMS压力传感器同样地使用上文所讨论的...
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