一种mems麦克风声学结构的制作方法技术资料下载

技术编号:8925658

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随着移动多媒体技术的发展,人们对语音品质的要求也越来越高,在声音传输设计中,MEMS (Micro Electro Mechanical System Microphone,微机电系统麦克风)麦克风技术与传统技术的麦克风相比由于具有薄而小的尺寸,高可靠性、耐高温等优良特征而得以广泛使用,然而现有的MEMS麦克风结构在使用时,声音信号经声学通孔发生一次衍射后进入麦克风声学腔体,即被麦克风声学腔体内部的换能器接收后实现电输出,上述的声学结构采用一阶声学模型,其...
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