技术编号:8926647
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。对于活塞环那样的汽车的发动机零件等,要求良好的耐磨损性、耐热性、防烧结性等。因此,对于这些机械零件,使用等离子体化学气相沉积方法实施DLC(Diamond-Like-Carbon)那样的耐磨损性涂覆。另外,在对上述基材实施等离子体化学气相沉积方法时,考虑生产率而希望在真空腔室内收纳大量基材而一次进行处理。在这样将大量基材一次处理的情况下,必须使在各个基材上形成的皮膜的厚度及膜质在基材彼此间均匀。因此,在以往的等离子体化学气相沉积装置中,将多个基材排列到同一...
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