技术编号:8927117
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。专利说明具有抗等离子体保护层的基板支撑组件相关申请案本专利申请案主张根据专利法于2012年12月4日提出申请的美国临时申请案第61/733,349号的权益,且进一步主张根据专利法于2013年3月15日提出申请的美国临时申请案第61/791,669号的权益。本发明的实施例大体而言关于具有抗等离子体保护层的基板支撑组件,诸如静电夹盘。背景在半导体工业中,装置藉由产生大小日益减小的结构的大量制造工艺制造。诸如等离子体蚀刻工艺及等离子体清洗工艺的一些制造工艺将基板...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。