技术编号:8930771
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及能够获得所希望的激光束轮廓的。背景技术在玻璃、硅或者蓝宝石等形成图案时、或在金属、树脂等的接合中使用激光的情况下,存在如下激光加工装置,例如以YAG激光振荡器或光纤激光振荡器等为激光光源,通过例如衍射光栅等的衍射光学元件对从激光光源射出的激光进行调制,将所希望的激光束轮廓照射到试样来进行加工。作为现有的具备将激光束的轮廓分割以及形成为所希望的形状的单元的激光加工装置,存在在旋转盘上设置了衍射光学元件的激光加工装置(例如,参照专利文献I)。图8A...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。