技术编号：8935334
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。目前，多晶硅锭的制备方法主要是利用定向凝固炉，通过控制合适的温度和侧边保温罩的开度，来使得硅液内部形成由下往上的过冷度，最终结晶形成多晶硅块；而在多晶铸锭领域，在高温下由于石英坩祸(主要成分S12)可以与硅液发生化学反应，从而形成粘锅裂锭的现象。为解决这一问题，目前行业内普遍采用的技术方案为在坩祸内表面利用喷涂的方式，在坩祸内表面制作一层氮化硅涂层作为脱模剂，从而确保在铸锭阶段硅液与坩祸不发生直接接触，降低粘锅裂锭的风险，虽然目前这一技术方案比较成熟，但仍...
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