技术编号：8935582
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。电子级溶液的充装系统对洁净程度和防污染的要求较高，例如电子级氢氟酸。电子级氢氟酸主要用于电子、光伏行业中生产集成电路，要求金属含量一般低于lOppb，非金属含量如 Cl ^ 5000ppb、N03 ^ 3000ppb、P0 43 ^ 100ppb^ SO 42 ^ 5000ppb。这不仅对于生产工艺，也是对充装工作提出了更高的要求和精细掌控。目前对于电子级的氢氟酸生产主要是将工业氢氟酸进一步氧化和精馏除杂，然后进行充装。为了提高生产效率，大多采用连续性充装...
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