一种纳米金刚石抛光液中磨料粒径控制方法技术资料下载

技术编号:8937371

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纳米金刚石抛光液以其优异的性能广泛应用于计算机硬盘、计算机磁头、蓝宝石衬底、碳化硅晶片和光学玻璃等领域的超精密抛光。由于纳米金刚石比表面积大、比表面能高,使得纳米金刚石处于热力学不稳定状态,其颗粒间极易发生团聚,并且这种团聚很难被破坏。在纳米金刚石抛光液的应用过程中,良好的抛光液粒径控制是获得好的加工效果的重要保障。国内外通过一系列物理化学改性的方法对纳米金刚石进行解团聚,以此来控制纳米金刚石抛光液的磨料粒径。0.Shenderova等人(0.Shende...
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