技术编号:8938183
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。薄膜技术经过100余年的发展,到现在已经相对完善和成熟,已发展为包括物理气相沉积、化学气相沉积和其它湿法薄膜制备技术三大类别的技术体系。但是,传统的薄膜技术仍然不能满足不断出现的新需求。例如,技术的发展要求在细长的管状基底内表面沉积薄膜,传统的各种薄膜制备技术,均无法实现这一要求。本发明涉及的薄膜沉积方法,是通过气体吸附随后反应实现的,可以在非常复杂的表面实现薄膜沉积。发明内容本发明针对现有技术的不足,提出,本发明实现了在细长的管状基底内表面沉积薄膜,解决...
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