一种微结构阵列光学位移传感器的制造方法及其用于检测微小位移的方法技术资料下载

技术编号:8940758

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传统的位移传感器是将光学的信号转化为位移变化信号。例如中国专利申请第2011101915004号公开了一种光学位移传感器。传感器采用正、负两块等腰直角三角型石英晶体棱镜,将位移变化转化为旋光角度的变化,进而通过检测接收光强得到位移信息。该传感器包括顺序排列的激光器,第一偏振分束棱镜,位移传感元件,第二偏振分束棱镜,第一光电探测器,第二光电探测器,除法运算器;其中传感元件由上下两块形状、性能完全相同的旋光率分别为正、负的等腰直角三角型第一石英晶体棱镜和第二石...
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