技术编号：8940796
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。球面光学元件在大口径空间望远镜、惯性约束聚变(ICF)系统、高能激光等系统中被广泛应用，元件表面的缺陷特征如划痕、麻点等不但会影响光学系统成像质量，其在高能激光系统中还会产生不必要的散射与衍射从而造成能量损失进而有可能造成二次损伤，因此设计了一种球面光学元件表面缺陷评价系统和方法，实现球面光学元件表面缺陷的自动化精确定量评价。。本发明基于已设计的球面光学元件表现缺陷评价系统和方法，提出一种应用于球面光学元件表面缺陷检测的自动定中方法，对球面光学元件曲率半径...
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