技术编号：8941702
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种探针，特别是指一种可提升耐电流特性的探针及其制造方法。背景技术晶圆进行测试时，测试机台通过探针卡(probe card)接触晶圆，并传送测试讯号以获取晶圆的电气讯号。探针卡通常包含若干个尺寸精密的探针。晶圆测试时，通过探针接触待测物(device under test，简称DUT)上尺寸微小的接触接点，例如焊垫(pad)或凸块(bump)，传递来自于测试机台的测试讯号，并配合探针卡及测试机台的控制程序，达到测量晶圆的目的。随着晶圆上的接触接点...
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