技术编号:8944469
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于电子,涉及一种高效彩色多晶太阳能电池片,特别是高效彩色多晶太阳能电池片的处理方法及其处理装置。背景技术高效彩色多晶太阳能电池片采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)沉积一层SiNxH减反射膜,通过对纳米硅薄膜太阳能电池P层的厚度、物相结构、形貌的调控,改变其光学参数,进而制备出彩色多晶太阳能电池片。同时,还可以通过退火工艺调控其形态结构、晶相比和光学参数,来提高彩色多晶太阳能电池的效率。现有的对高效彩色多晶太阳能电池片处理方法中,并不能有效...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。