技术编号：8956763
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于化学气相沉积工艺设备制造领域，涉及纳米材料制造设备。背景技术碳纳米管是一维纳米晶体新材料，具有许多优异性能，在商业应用上已经开发了一些新领域，在传统的很多应用领域也已经开始代替炭黑和石墨，成为了下游厂商指定的添加剂产品。催化剂化学气相沉积工艺是工业化大规模生产碳纳米管的主要方法。与本发明联系的预置催化剂化学气相沉积工艺的主要过程特征是采用碳源气体作为碳纳米管的生长碳源。2、反应室处于高温、缺氧，提供碳源气裂解环境。3预置固体催化剂，促使裂解碳按照...
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