技术编号：8956773
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。 本发明涉及一种多层石墨烯以及具有该多层石墨烯的蓄电装置和半导体装置。背景技术 近年来，石墨烯被探讨用于半导体装置中的具有导电性的电子构件。石墨烯是指 石墨中的水平层，即由碳原子构成的六元环在平面方向上连接而成的碳层，尤其两层以上 且一百层以下的该碳层被叠层时称为多层石墨烯。 由于石墨烯具有化学稳定性和良好的电特性，所以有望应用于包括在半导体装置 中的晶体管的沟道区、通孔、布线等。另外，在专利文件1中，为了提高锂离子电池的电极材料的导电性，将石墨烯覆盖 在...
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