技术编号：8956785
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。1955年，西门子公司成功开发了利用氢气还原三氯硅烷(SiHCl3)在硅芯发热体上沉积硅的工艺技术，并于1957年开始了工业规模的生产，这就是通常所说的西门子法。西门子法存在能耗较高、产品效率低、工艺复杂等缺点。后来发展出了流化床法，流化床法是美国联合碳化合物公司早年研发的多晶硅制备工艺技术。该方法是以SiCl4(或SiF4)、H2, HCl和冶金硅为原料在高温高压流化床(沸腾床)内生成SiHCl3，将SiHCl3再进一步歧化加氢反应生成SiH2Cl2，继...
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