技术编号：8960174
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。由于波纹管容易晃动，长晶炉在正常抽真空、行走、填充高压时，波纹管会扭曲碰触到籽晶竿，导致称重信号有大幅偏差，影响晶体的生长，导致晶体表面平整度差，也就是晶体会有扭曲、波纹等现象发生，这现象会形成晶体内部品质不良，包裹物较多等问题。波纹管的伸缩防护效果好，但是抗变形和晃动的能力差，需要进行提高稳定性的改进。发明内容本发明主要解决的技术问题是提供一种稳定性高的长晶炉用晶体称重装置，提高波纹管的稳定性，避免其与籽晶杆的接触。为解决上述技术问题，本发明采用的一个技...
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