技术编号:8964604
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。目前,射频电源阻抗自动匹配器被广泛应用于工业医疗等领域,很多生产工艺控制设备供应商都生产自动阻抗匹配器,但大部分采用的技术为模拟电路的控制方式。另外,对于太阳能光伏发电、半导体芯片制造等新兴产业来说,高能等离子束镀膜、射频溅射是其中的关键生产工艺,而射频电源自动阻抗匹配器又是这些关键工艺的关键设备之一。目前阻抗匹配器普遍采用模拟技术产品存在的主要问题有(I)可实现自动匹配的工作点范围小、匹配时间长;(2)在匹配点处有时会出现来回震荡现象;(3)不具备全局智...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。