技术编号:8974243
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在硅晶体的制备过程中,其大部分过程是吸热过程,即需要外部供给热量,因为石墨具有耐高温、电阻率高、强度随着温度提高而增加等特点,因此采用石墨加热器提供制备过程所需要的热量。石墨加热器在使用过程中,由于漏硅或渗硅等原因,导致加热器电极支脚和石墨电极粘结在一起,加热器电阻发生变化,进而影响温度梯度,使加热器不能再继续使用。但是,加热器的主体依然是完好的。加热器所用的石墨是高纯等静压石墨,这类石墨主要依靠进口,价格昂贵。因此这就造成了企业成本的提高。实用新型内容针...
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