技术编号:90166
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。1、名称双光路零位法光电定心及测量装置。2、发明所属技术领域本发明是一种定心与检测透镜偏心差的装置。用于光学另件磨边、胶合和装配等工艺过程中的定心或另件加工过程中的中心误差检测。该装置也可用于角度高精度测量。背景技术近代空间光学、微电子学和激光技术的发展,对光学另件精度的要求越来越高,各种高性能物镜的光学设计对透镜偏心差要求很严,达微米(或弧秒)数量级。因而世界各国很重视高精度定心方法与仪器的研究,光电法定心已为国外普遍采用。但迄今为止,国外研制生产的光电定心装置,一般精度均在10″左右,还不能满足高精度要求。如美...
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