技术编号:9021676
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。现有技术主要是通过视觉丝网印刷机叠印来实现。一般的丝网印刷机检测的对象是丝网底部的Mark标示以及硅片的边缘,无法得知第一次印刷物料在硅片上的精确位置,其实现的只是粗略定位,因此叠印效果不佳。解决二次印刷的办法就是二次印刷定位系统,它能够运用视觉系统得出第一次印刷的材料在硅片上的坐标位置,进行定位,然后引导第二次印刷图像生成的位置,从而实现硅片的二次印刷。然而,目前硅片二次印刷技术仍存在以下问题叠层印刷中,两次印刷的重叠率是判定丝网印刷机重复精度的标尺,一...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。