技术编号:9034685
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。硅锭为硅料在模具中高温熔化后定向凝固而成,其采用的硅料纯净度不够,故在硅锭的铸造过程中,不同类型的杂质往往利用分凝原理而定向聚集在硅锭的周边。同时,铸造工艺中盛放硅料的坩祸在高温作用下会发生反应,进而将其主要化学成分渗透到硅锭中,致使处于周边的硅锭中存在一定量的氧碳杂质,这些氧碳杂质在高温下与硅形成化合或游离态的杂质。也就是说,硅锭的周边存在较多的氧碳杂质,其杂质含量过高,不符合硅片制作的要求。因此,需要将硅块头尾不可用的部分切除掉。现有技术中,多晶硅块一...
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