技术编号:9037560
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。蓝宝石作为实际应用的半导体GaN/Al203发光二极管(LED)、大规模集成电路SOI和SOS及超导纳米结构薄膜等最为理想的衬底材料,其具备优异的光学性能、机械性能和化学稳定性能,以强度高、硬度大、耐冲刷的特点被广泛的应用与红外军事装置、卫星空间技术、高强度激光的窗口材料。蓝宝石炉作为提炼蓝宝石晶体的主要设备,一般分为主炉室、炉底板、炉盖、上轴系统、真空系统、水路系统等几大部分。由于蓝宝石的拉制需要在一个密封的真空环境内完成,且核心温度需要达到2050°C...
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