技术编号:9040073
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。晶圆的各项制程需要在机台上的反应腔内完成,所述反应腔与一干泵连接,所述反应腔中的废气中含有大量的液态或固态的制程副产物,这些液态或固态的制程副产物会随着废气进入到所述干泵中,导致所述干泵卡死,每年约有25%的所述干泵因为液态或固态的制程副产物卡死,造成所述反应腔内的晶圆报废,降低了产品的良率,增加了成本。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种过滤装置、过滤系统及半导体机台,已解决现有技术中泵因制程副产物卡死而失效的问题。为了达到上述目的,本实用新型提供了...
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