技术编号:9044688
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。近年来,利用MEMS(微机电系统)工艺集成的MEMS麦克风开始被批量应用到手机、笔记本电脑等电子产品中,并成为微电子产品中相当普及的配件。随着手机、笔记本电脑等电子产品的微型化趋势,MEMS麦克风也不断趋向于微型化,现行比较常见的MEMS麦克风设计中,MEMS芯片和ASIC —般设在电路板表面上,因此需要用到面积较大的线路板,这种设计不利于MEMS麦克风的微型化。实用新型内容鉴于上述问题,本实用新型所要解决的技术问题是提供一种微型化MEMS麦克风。为了解决...
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