技术编号：9044692
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。微机电(MEMS，Micro-Electro-Mechanical System)麦克风或称娃电容麦克风因其体积小、适于表面贴装等优点而被广泛用于平板电子装置的声音采集，例如手机、MP3、录音笔和监听器材等。相关技术中，硅电容麦克风包括敏感结构(亦称换能器)、配套集成电路和封装部件，敏感结构又包括基底、背极板和振膜。其中，避免硅电容麦克风在使用过程中由于跌落或大气流通过而造成的敏感结构失效，是较为普遍的可靠性要求。传统的硅电容麦克风一般结构敏感结构自身特点...
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