技术编号:905291
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种使用了静电电容型振子的超声波诊断系统。 背景技术最近,开发出使用了不同于压电振子的静电电容型振子(Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer 以下称为C-MUT)的超声波振子(换能器),提出一种连接装载有该超声波振子的超声波探头或者超声波内窥镜来在利用超声波进行的检查中使用的超声波诊断系统。C-MUT是在硅基板上设置一个空洞并在空洞的上部和下部具备电极的结构,通过对这些电极施加与偏置电压相应的...
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